産品列表        
2BE1系列水環式真空泵及壓縮機
2BE3系列水環式真空泵及壓縮機
2BV系列水環式真空泵及壓縮機
SK系列水環式真空泵及壓縮機
2SK系列水環式真空泵及壓縮機
SZ系列水環式真空泵及壓縮機
CL系列水環式真空泵
TC系列水環式真空泵
2BW系列液環式閉路循環系統
ZJB系列帶溢流閥羅茨真空泵
KT.K型系列高真空擴散泵及機組
X系列單級旋片式真空泵
2X系列旋片式真空泵
XD系列單級旋片式真空泵
W、WY系列往複式真空泵
WL、WLW系列立式(無油)往複式真空泵
JZJX系列羅茨旋片真空機組
JZJS系列羅茨水環真空機組
JZJH系列羅茨滑閥真空機組
JZJW系列羅茨往複真空機組
ZF系列真空負壓站

選用真空泵時,需要注意下列事項:

    1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

    2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強範圍,如:擴散泵爲10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強範圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強範圍爲5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個範圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如钛升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg爲好。

    3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中産生的全部氣體量。

    4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如钛升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氩有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

    5、真空設備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油汙染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

    6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

    7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

    8、真空泵工作時産生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

    9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

水環式真空泵的選擇

一、泵類型的確定

泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。

泵工作時,需要注意以下兩個方面:
1.盡可能要求在高效區內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。
2.應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩定,易産生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區域之內運行,往往還會發生汽蝕現象,産生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。

根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環-大氣泵或水環-羅茨真空機組作爲抽真空裝置。

如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因爲單作用泵的構造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。
如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適。因爲雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易産生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長。

二、根據系統所需的氣量選擇真空泵

初步選定了泵的類型之後,對于真空泵,還要根據系統所需的氣量來選用泵的型號。

 

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